热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一 种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传 感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器， 一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。

管道式热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻（RTD）组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。

数显插入式气体质量流量计*的温度差测量方式克服了采用恒温差原理的热式气体质量流量计测量煤气流量时因煤气中含水、油和杂质而造成的很大的零点漂移，导致无法测量的弊端。它也可以用于测量湿气体的质量流量，如矿井下瓦斯抽放、送风，排风系统中的风量（速）的实时检测。